众所周知,只要在某些材料的表面镀上一层薄膜,这些材料就可以具有许多新的良好的物理和化学性质。20世纪70年代,电镀和化学镀是物体表面涂层的主要方法。在前者中,电解质通过通电而被电解,并且被电解的离子被镀在用作另一电极的基板的表面上。因此,衬底必须是良导体,并且膜的厚度难以控制。后者是一种化学还原方法。膜材料必须制成溶液,并能迅速参与还原反应。这种涂覆方法不仅膜的结合强度差,而且涂层既不均匀均,也不容易控制。同时,会产生大量的废液,造成严重的污染。因此,这两种被称为湿法涂布的涂布工艺受到极大的限制。
与湿法镀膜技术相比,真空镀膜技术具有以下优点:
1、膜和基底选择广泛,膜厚度可以控制,以制备具有各种功能的功能膜。
2、该薄膜在真空下制备,环境清洁,不易污染,因此可以获得致密性好、纯度高、涂层均匀的薄膜均。
3、薄膜与基材的结合强度好,薄膜牢固。
4、干涂层不会产生废液或环境污染。
真空镀膜技术主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀、真空束沉积、化学气相沉积等方法。
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