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真空PVD镀膜涂层工艺的基本步骤

作者:admin 发布日期:2020-09-19 关注次数: 二维码分享
一、前处理工艺

褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹

二、镀膜工艺

抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉

三、后处理工艺

清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;

抽真空:将真空室内的残余气体抽走

加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放

压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率

轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面

镀膜:沉积膜层

冷却:避免工件氧化变色

为什么要进行冷却?

镀膜工艺完成后,真空室内温度高达500℃,如果不冷却就放气,没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。

冷却如何进行?

1. 高阀关闭,真空计关闭,真空室与泵组隔离;

2. 当操作人员按下N2 vent按钮,预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室,当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时,N2充气阀关闭。

3. 真空室内充入了大量N2,真空度很低,更加有利于热传导,所以降温速度比不充冷却N2时快很多,缩短冷却时间,提高生产效率,实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。

4. 由于氦气的热传导率更高,所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快,但是成本也更高。压铸模具涂层

5. 国外设备快速冷却程序,通过冷却气体的循环冷却,能缩短冷却时间50%。

为什么要进行压升率测试?

真空环境条件是影响最终涂层质量最重要的因素。镀膜前,必须进行压升率测试,以保证真空环境条件满足镀膜标准。

怎样进行压升率测试?

在我们的自动镀膜工艺中,压升率测试是自动进行。

当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后,进入压升率测试步骤。

系统会自动关闭高阀,此时真空室与泵组隔离,真空室内压力会升高。在一定时间内(一般1分钟),如果压力不超过设定的报警值,系统会自动进行下一步程序,进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值,系统会有报警提示,此时,操作人员应按照操作流程,再次进行抽真空和加热烘烤,然后重复进行压升率测试,直至压升率满足镀膜条件。

昆山英利悦电子有限公司采用磁控离子溅射镀及多弧离子镀等先进绿色环保真空镀膜工艺主要致力于3C行业及五金件类的PVD真空镀膜, 其可以在各种五金材料的工件(基体)上镀制出各种膜层,以达到不同的性能要求和外观效果;目前拥有7台具备先进工艺配置的真空镀膜设备,主要从事电子产品、医疗器件、汽车配件、运动器材等五金产品表面PVD加工服务,膜层以装饰镀和功能膜(DLC)为主;加上与其相配套的喷砂、镭雕、激光焊接、研磨抛光等生产设备,使生产能力不断得到提升并提供优质的产品。

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