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温度对PVD涂层会产生哪些影响?

作者:admin 发布日期:2020-11-21 关注次数: 二维码分享
  PVD涂层是指在真空条件下使用低电压、大电流电弧放电技术,使用气体放电来蒸发目标并电离蒸发的物质和气体,以及使用电场加速将蒸发的物质及其反应产物沉积在工件上。PVD涂层是一个复杂的过程,特别是应用于工具和模具的PVD涂层要求涂层的所有方面都有很高的性能。在涂布过程中,许多因素会影响涂层的性能。

1、薄膜的生长提高了温度,有利于改善薄膜的结构和性能。氮化钛、氮化钛等涂层。在400-600℃的合适温度下可以获得较好的硬度和结合力。

2、PVD镀膜过程中的温度与结合力、硬度等没有线性关系。在涂覆过程中,温度过低,薄膜生长不充分,表面粗糙,耐蚀性和显微硬度降低。高温容易产生粗大的柱状晶体。导致基体材料结构恶化,结合力下降,薄膜性能下降。

3、提高衬底温度可以去除挥发性残留物,增强表面扩散和再结晶。界面反应加速,底层杂质扩散。基质融化了。增加晶体颗粒的大小。促进再结晶界面的外延生长、降低内应力、增加阶梯覆盖率以及增加与衬底相互作用所需的涂层温度取决于工件的金相结构、热处理、工件几何形状,例如锐边、薄板的快速加热以及温度测量非常困难。电弧电流、基体偏压和反应压力也会影响温度。涂层可在180开始。工件应在不会引起材料物理变化的温度下进行涂覆。

4、pvd涂层温度超过回火点,使工件变软。

5、如镀膜真空室零件较少,工件周围会聚集较多的等离子体,会导致工件温度较高和沉积速率较高。

PVD涂层工艺对环境没有不利影响,符合现代绿色制造的发展方向。目前,PVD涂层技术已广泛应用于硬质合金立铣刀、钻头、台阶钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。PVD技术不仅提高了薄膜与工具基体材料之间的结合强度,而且将第一代氮化钛的涂层成分发展成多组分复合涂层,如碳化钛、TiCN、氮化锆、氮化铬、二硫化钼、氮化钛、氮化钛铝、氮化锡、氮化碳、类金刚石碳和钽碳等。

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